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申请/专利权人：三菱电机株式会社
摘要：激光加工装置100具有：光束特性计算部14，其对向配置于加工头3的光学部件30照射的激光的光束特性进行计算；光学部件温度推定部15，其基于由配置于加工头内的温度传感器7测量出的温度的信息即温度信息P5和光束特性，对光学部件的推定温度进行推定；热透镜推定部16，其基于推定温度，对光学部件的热透镜量进行推定；成像性能变化推定部17，其基于热透镜量，对加工头的成像光学系统的成像性能的从加工开始前起的变化量即推定成像性能变化量进行推定；校正量计算部22，其基于推定成像性能变化量，对加工参数P1的校正量进行计算；以及控制部11，其对使用了激光的激光加工进行控制，并且在激光加工中，基于校正量对加工参数进行变更。
主权项：1.一种激光加工装置，其特征在于，具有：光束特性计算部，其对向配置于加工头的光学部件照射的激光的光束特性进行计算；温度推定部，其基于由配置于所述加工头内的温度传感器测量出的温度的信息即温度信息、和所述光束特性，对所述光学部件的推定温度进行推定；热透镜推定部，其基于所述推定温度，对所述光学部件的热透镜量进行推定；成像性能变化推定部，其基于所述热透镜量，对所述加工头的成像光学系统的成像性能的从加工开始前起的变化量即推定成像性能变化量进行推定；校正量计算部，其基于所述推定成像性能变化量，对加工参数的校正量进行计算；以及控制部，其对使用了所述激光的激光加工进行控制，并且在所述激光加工中，基于所述校正量对所述加工参数进行变更。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三菱电机株式会社 激光加工装置、控制装置、激光加工系统及激光加工方法
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