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申请/专利权人：广州澳企实验室技术股份有限公司

摘要：本发明提供了一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，包括：实验室外墙组合体；安装在实验室外墙组合体内的实验室内墙组合体；安装在实验室外墙组合体顶部外侧的室外风布风装置；安装在实验室内墙组合体顶部的FFU送风控制系统；安装在实验室内墙组合体底部的地板回风控制系统；以及中央控制器，中央控制器根据风速传感器收集的风速数据设定相应防静电地板下方电动风量调节阀的回风量，使得FFU送风层面和地板回风层面的风速均匀一致。本微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统不仅可以使得FFU送风层面和地板回风层面的风速均匀一致，而且通过对FFU风机滤网机组的结构设计，极大的方便了FFU风机滤网机组的安装和拆卸。

主权项：1.一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，其特征在于包括：实验室外墙组合体；安装在实验室外墙组合体内的实验室内墙组合体，所述实验室外墙组合体与实验室内墙组合体之间形成风道；安装在实验室外墙组合体顶部外侧的室外风布风装置；安装在实验室内墙组合体顶部的FFU送风控制系统，所述FFU送风控制系统由多个安装在实验室内墙组合体顶部且成方形矩阵分布的FFU过滤机组组成，所述FFU送风控制系统中呈方形矩阵分布的FFU过滤机组按照送风区域的不同划分为三个可独立控制的FFU送风风速调控组合Ⅰ、FFU送风风速调控组合Ⅱ和FFU送风风速调控组合Ⅲ，每个FFU过滤机组的出风口都安装有风速传感器；安装在实验室内墙组合体底部的地板回风控制系统，所述地板回风控制系统由多块安装在实验室内墙组合体底部且成方形矩阵分布的防静电地板组成，每块防静电地板表面都均匀开设有风孔，所述地板回风控制系统中呈方形矩阵分布的防静电地板按照回风区域的不同划分为三个可独立控制的地面回风风速调控组合Ⅰ、地面回风风速调控组合Ⅱ和地面回风风速调控组合Ⅲ，每块防静电地板的下方均安装有电动风量调节阀；中央控制器，所述中央控制器分别与每个FFU过滤机组、风速传感器、电动风量调节阀电性连接，中央控制器根据风速传感器收集的风速数据设定相应防静电地板下方电动风量调节阀的回风量，使得FFU送风层面和地板回风层面的风速均匀一致；所述FFU送风风速调控组合Ⅰ对应成方形矩阵分布的FFU过滤机组的外围机组，并与地板回风控制系统中的地面回风风速调控组合Ⅰ的回风区域相对应；所述FFU送风风速调控组合Ⅱ对应成方形矩阵分布的FFU过滤机组的中间机组，并与地板回风控制系统中的地面回风风速调控组合Ⅱ的回风区域相对应；所述FFU送风风速调控组合Ⅲ对应成方形矩阵分布的FFU过滤机组的中心机组，并与地板回风控制系统中的地面回风风速调控组合Ⅲ的回风区域相对应；所述FFU过滤机组包括FFU过滤机组本体、化学净化模块、高效过滤器和铝型材龙骨组件，所述铝型材龙骨组件由四条铝型材龙骨首尾相接拼接而成，铝型材龙骨首尾拼接处通过龙骨连接件固定连接，每个铝型材龙骨的左右两侧均设置有插片对接钩片，铝型材插片通过钩位与插片对接钩片契合后固定在铝型材龙骨上且向外凸出，每个铝型材龙骨的顶部均设置有顶部钩槽，吊杆组件的底部通过T型螺杆嵌入铝型材龙骨的顶部钩槽内，吊杆组件的顶部悬吊在实验室外墙组合体的顶板上，高效过滤器贴合安装在化学净化模块的底部，化学净化模块贴合安装在FFU过滤机组本体的底部，高效过滤器的四个端边分别搭放在插入至四条铝型材龙骨的四个铝型材插片上，风速传感器安装在高效过滤器底部的出风口。

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