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申请/专利权人：烟台华创智能装备有限公司

摘要：本发明涉及一种载盘自动输送式真空共晶炉，包括炉本体、载盘上料机构和载盘升降机构，炉本体包括壳体以及设置于壳体之内的承载机构；载盘上料机构包括无动力辊子转接架和载盘移动模组，所述无动力辊子转接架靠近所述壳体，所述载盘移动模组包括连接于无动力辊子转接架的驱动部A以及连接于驱动部A的夹持组件，所述夹持组件用于带动载盘滑行于无动力辊子转接架的顶端；载盘升降机构包括连接于所述壳体的驱动部B、以及与驱动部B连接的传动部，所述传动部连接于载盘，用于驱动所述载盘进行升降。本发明提供的真空共晶炉能够实现载盘从样品装载工位到炉腔内载盘定位点的自动移载，同时确保炉腔内的密封环境。

主权项：1.一种载盘自动输送式真空共晶炉，其特征在于，包括，炉本体1，包括壳体11以及设置于所述壳体11之内的承载机构12，所述承载机构12用于承接载盘4；载盘上料机构2，包括无动力辊子转接架27和载盘移动模组28，所述无动力辊子转接架27靠近所述壳体11，所述载盘移动模组28包括连接于无动力辊子转接架27的驱动部A282以及连接于驱动部A282的夹持组件283，所述夹持组件283构造为夹持所述载盘4，用于带动载盘4滑行于无动力辊子转接架27的顶端；载盘升降机构3，包括连接于所述壳体11的驱动部B31、以及与驱动部B31连接的传动部，所述传动部连接于载盘4，用于驱动所述载盘4进行升降；所述传动部包括传动轴33、固定连接于传动轴33的至少两组凸轮36、设置于凸轮36上方的转接板37以及连接于转接板37两端的无动力辊子条38，所述无动力辊子条38抵接于载盘4的底端；所述无动力辊子条38包括连接底板（381）和固定连接于连接底板（381）的若干顶升块（382），连接底板（381）固定连接于转接板37，顶升块（382）抵接于载盘4，所述顶升块（382）的上端转动连接有滚轮（383）；所述载盘上料机构2还包括用于输送载盘4的两直线输送模组21、以及设置于两直线输送模组21之间的无动力辊子顶升架26，所述无动力辊子顶升架26设置于载盘4的下方，所述无动力辊子顶升架26构造为能够进行升降，在顶升状态下，所述无动力辊子顶升架26和无动力辊子转接架27衔接。

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