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半导体器件用单工位外观缺陷检测装置 

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申请/专利权人:隆正发

摘要:本申请提供了一种半导体器件用单工位外观缺陷检测装置,包括底座、第一视觉检测模组、第二视觉检测模组、转动板和送料组件;底座的上侧设置有传动连接有第一转动驱动构件的定位件;第一视觉检测模组设置在定位件上;第二视觉检测模组通过升降调节构件设置在底座的上侧;转动板设置在定位件上,其连接有第二转动驱动构件,且其上设置有限位结构;送料组件设置在底座上,用于与零部件顶面相接,并带动零部件移位。本申请提供的半导体器件用单工位外观缺陷检测装置,能够以自动化替代人为操作,实现对零部件每一侧所进行的外观缺陷检测,确保外观缺陷检测过程的稳定性,以及外观缺陷检测结果的可靠度。

主权项:1.半导体器件用单工位外观缺陷检测装置,其特征在于,包括:底座,其上侧沿水平方向转动设置有一定位件,且所述定位件传动连接有第一转动驱动构件;定义所述定位件的转动轴向为前后方向;第一视觉检测模组,固定设置在所述定位件上,其检测端的朝向与前后方向垂直;第二视觉检测模组,通过升降调节构件设置在所述底座的上侧,且其检测端朝向所述定位件设置;转动板,转动设置在所述定位件的外壁上,其转动轴向与前后方向垂直,且其传动连接有第二转动驱动构件;定义所述转动板背向所述定位件的侧面为其承料面;通过所述第一转动驱动构件能够带动所述定位件转动,以使所述承料面朝向上方或朝向所述第二视觉检测模组;并且,所述转动板上设置有用于限制零部件移动、使零部件与所述转动板同轴设置的限位结构;以及送料组件,设置在所述底座上,用于与零部件的顶面相接,并带动零部件沿水平方向移动至所述定位件上方,以使零部件的底面能够朝向所述第一视觉检测模组的检测端,或使零部件能够落在所述转动板上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 隆正发 半导体器件用单工位外观缺陷检测装置

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