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申请/专利权人：磐石创新(江苏)电子装备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种半导体晶圆片清洗机快排缓冲暂存降温槽体机构，包括清洗槽和暂存缓冲降温槽，所述清洗槽的下端通过管道式快排装置与暂存缓冲降温槽连通，所述暂存缓冲降温槽内壁通过安装架固定有水冷盘管总成且水冷盘管总成的进水端和出水端均延伸至暂存缓冲降温槽外侧，所述暂存缓冲降温槽的下端设有药液排放弯管且药液排放弯管上设有药液排放阀。实用新型与现有技术相比的优点在于：本申请通过管道式快排装置、水冷盘管总成、药液排放弯管和药液排放阀等组件的协同作用，该机构能够在清洗结束后快速排空槽内高温药液，并通过水冷却降温，有效防止对设备和环境的损害。
主权项：1.一种半导体晶圆片清洗机快排缓冲暂存降温槽体机构，其特征在于，包括清洗槽1和暂存缓冲降温槽4，所述清洗槽1的下端通过管道式快排装置2与暂存缓冲降温槽4连通，所述暂存缓冲降温槽4内壁通过安装架固定有水冷盘管总成5且水冷盘管总成5的进水端和出水端均延伸至暂存缓冲降温槽4外侧，所述暂存缓冲降温槽4的下端设有药液排放弯管9且药液排放弯管9上设有药液排放阀6。
全文数据：
权利要求：
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