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申请/专利权人：广东天域半导体股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种提高工艺气体混合均匀性的装置，包括若干个供工艺气体进入的进气口，若干个所述进气口分别相连通有第一管道，第一管道用于将若干个工艺气体混合成混合气体并进行输送，所述第一管道一端相连通有第二管道，所述第二管道的管道直径小于第一管道的管道直径，所述第二管道用于对混合气体进行加速输送，所述第二管道相连通有第三管道，所述第三管道的管道直径大于第二管道，所述第三管道外壁均匀缠绕有加热丝，所述第三管道用于供混合气体加热扩散，所述第三管道一端连通有出气口；本实用新型的一种提高工艺气体混合均匀性的装置，占用空间更小，利用丘文里效应和加热扩散，工艺气体的混合均匀性、混合效率和产品良率提高。
主权项：1.一种提高工艺气体混合均匀性的装置，其特征在于，包括若干个供工艺气体进入的进气口1，若干个所述进气口1分别相连通有第一管道2，第一管道2用于将若干个工艺气体混合成混合气体并进行输送，所述第一管道2一端相连通有第二管道3，所述第二管道3的管道直径小于第一管道2的管道直径，所述第二管道3用于对混合气体进行加速输送，所述第二管道3相连通有第三管道4，所述第三管道4的管道直径大于第二管道3，所述第三管道4外壁均匀缠绕有加热丝5，所述第三管道4用于供混合气体加热扩散，所述第三管道4一端连通有出气口6。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东天域半导体股份有限公司 一种提高工艺气体混合均匀性的装置
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