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摘要：本发明公开了一种薄膜热流传感器及其制备方法，薄膜热流传感器包括热障层盖板、热电偶堆、基底和信号输出引针；所述基底和信号输出引针通过高温烧结进行整合；所述热电偶堆设置于所述基底表面；所述热障层盖板粘接在所述热电偶堆的表面；所述热障层盖板包括盖板本体和凸起，所述凸起位于所述盖板本体的中间位置。本发明的薄膜热流传感器，通过单独制备陶瓷热障层盖板，再高温粘接在热电偶堆的表面；由于热障层盖板采用高温烧结的方式单独制备而成，相对于常规采用薄膜沉积的方式形式热障层，能够耐受较高的工作温度及其他恶劣环境，保证传感器的性能和使用寿命，且工序较为简单，成本较低。
主权项：1.一种薄膜热流传感器，其特征在于，包括热障层盖板1、热电偶堆2、基底3和信号输出引针4；所述基底3和信号输出引针4通过高温烧结进行整合；所述热电偶堆2设置于所述基底3表面；所述热障层盖板1粘接在所述热电偶堆2的表面；所述热障层盖板1包括盖板本体和凸起，所述凸起位于所述盖板本体的中间位置。
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百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种薄膜热流传感器及其制备方法
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