龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明提供一种具有叠层多晶硅的隧穿氧化物钝化接触结构及其制备方法，隧穿氧化物钝化接触结构包括设置在晶硅衬底上的纳米氧化硅薄膜，以及交替设置在所述纳米氧化硅薄膜上的掺磷多晶硅薄膜和多元素掺杂多晶硅薄膜，所述多元素掺杂多晶硅薄膜中掺杂有磷元素和功能元素，所述功能元素选自碳、氮、氧中的一种或多种，所述掺磷多晶硅薄膜的数量为n层，所述多元素掺杂多晶硅薄膜的数量为m层，n≥2，m≥1，且1≥n‑m≥‑1。本发明提出一种创新的隧穿氧化物钝化接触结构，通过增加含有碳氮氧元素的多晶硅插入层，可以有效阻止金属浆料烧穿，降低金属化区域复合电流，提高电池的开路电压。
主权项：1.一种具有叠层多晶硅的隧穿氧化物钝化接触结构，其特征在于，包括设置在晶硅衬底上的纳米氧化硅薄膜，以及交替设置在所述纳米氧化硅薄膜上的掺磷多晶硅薄膜和多元素掺杂多晶硅薄膜，所述多元素掺杂多晶硅薄膜中掺杂有磷元素和功能元素，所述功能元素选自碳、氮、氧中的一种或多种，所述掺磷多晶硅薄膜的数量为n层，所述多元素掺杂多晶硅薄膜的数量为m层，n≥2，m≥1，且1≥n-m≥-1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中科研和(宁波)科技有限公司 一种具有叠层多晶硅的隧穿氧化物钝化接触结构及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号