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摘要：本发明涉及复制光栅检验领域，涉及一种光栅垂直度检验装置与方法，应用于检验复制光栅刻线方向与基准面的垂直度，包括固定板、发射装置、载物装置、第一狭缝装置和第二狭缝装置、第一光电探测装置和第二光电探测装置，发射装置设置于固定板的第一端；载物装置设置于固定板的第二端；第一狭缝装置位于发射装置和载物装置之间，第二狭缝装置位于复制光栅的1级衍射方向上；第一光电探测装置位于第一狭缝装置的入射侧，第二光电探测装置位于第二狭缝装置的出射侧。由此，通过对比光栅刻线与基准面的位置关系，将难以测量的刻线倾斜角度转化为易于测量的衍射面与基准面二面角角度，有效地提高了测量精度，进而提高复制光栅批量生产的效率及良品率。
主权项：1.一种光栅垂直度检验装置，应用于检验复制光栅6刻线方向与基准面的垂直度，其特征在于，包括：固定板1，所述固定板1沿水平方向设置；发射装置2，所述发射装置2设置于所述固定板1的第一端，所述发射装置2用于发射激光；载物装置3，所述载物装置3设置于所述固定板1的第二端，所述载物装置3用于摆放所述复制光栅6；第一狭缝装置41和第二狭缝装置42，所述第一狭缝装置41和所述第二狭缝装置42设置于所述固定板1上，所述第一狭缝装置41位于所述发射装置2和所述载物装置3之间，所述第二狭缝装置42位于所述复制光栅6的1级衍射方向上；第一光电探测装置51和第二光电探测装置52，所述第一光电探测装置51和所述第二光电探测装置52设置于所述固定板1上，所述第一光电探测装置51位于所述复制光栅6的-1级衍射方向上，所述第二光电探测装置52位于所述复制光栅6的1级衍射方向上。
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百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种光栅垂直度检验装置与方法
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