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摘要：一种一体化的高温MEMS振镜转角直接测量方法，通过观测设置于不同温度环境下的MEMS振镜在施加驱动电压后反射的光学扫描线长度，通过三角函数关系计算振镜的光学转角与不同温度的关联，得到MEMS振镜的性能退化情况。本发明能够降低部分因温箱运行振动而导致的测量误差，测量精度更高；入射光路与出射光路相互分离避免干扰；并且不需要激光器探入高温温腔内部，对激光器的耐温要求更低。
主权项：1.一种一体化的高温MEMS振镜转角直接测量方法，其特征在于，通过观测设置于不同温度环境下的MEMS振镜在施加驱动电压后反射的光学扫描线长度，通过三角函数关系计算振镜的光学转角与不同温度的关联，得到MEMS振镜的性能退化情况。
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百度查询： 上海交通大学 一体化的高温MEMS振镜转角直接测量方法
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