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一种数字全息显微同步测量方法及装置 

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摘要:本发明公开一种数字全息显微同步测量方法及装置,涉及光学干涉测量领域。用于解决现有数字全息进行物体测量时存在测量装置复杂,操作模式复杂以及系统稳定性差的问题。包括:光源部分,其用于向分光棱镜提供多个不同波长的耦合光;分光棱镜,其用于将来自光源部分的耦合光进行透射和反射,第一反射光经过第一显微物镜和待测样品反射后形成第二反射光;筒镜,其用于对所述第二透射光和所述第四反射光进行会聚,以使所述第二透射光和所述第四反射光在相机表面产生干涉;相机,其用于采集所述第二透射光和所述第四反射光所形成的干涉图。

主权项:1.一种数字全息显微同步测量装置,其特征在于,包括:光源部分,其用于向分光棱镜提供多个不同波长的耦合光;分光棱镜,其用于将来自光源部分的耦合光进行透射和反射,形成第一透射光和第一反射光;所述第一反射光经过第一显微物镜和待测样品反射后形成第二反射光,所述第二反射光经过所述分光棱镜形成第二透射光;所述第一透射光经过第二显微物镜和平面反射镜后形成第三反射光,所述第三反射光经过所述分光棱镜反射形成第四反射光;筒镜,其用于对所述第二透射光和所述第四反射光进行会聚,以使所述第二透射光和所述第四反射光在相机表面产生干涉;相机,其用于采集所述第二透射光和所述第四反射光所形成的干涉图。

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