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摘要：本发明公开了一种全息显微测量方法及装置，涉及光学成像和数字全息技术领域。用于解决现有的数字全息测量方法检测模式单一，二维和三维检测不能同时进行，而现有的多模式检测装置需要分时或多个探测器进行测量导致测量效率低、数据同步性差和系统复杂性高等问题。包括：第一矩形光阑，其用于对第一透射光进行整形，使得第一透射光形成矩形光束；第二分光部分，用于将第一透射光分为具有间距的物光和参考光；第二矩形光阑，用于对物光和参考光进行截取，得到未重叠的部分参考光、部分物光和部分参考光重叠的重叠部分；图像探测器，其用于采集重叠部分形成的离轴全息图以及未重叠的部分参考光形成的显微图。
主权项：1.一种全息显微测量装置，其特征在于，包括：光源部分，其用于向第一分光部分提供平行光束；第一分光部分，其用于将来自光源部分的平行光束进行反射，形成第一反射光，所述第一反射光经过显微物镜和待测样品反射后形成第二反射光，所述第二反射光经过所述第一分光部分形成第一透射光，所述第一透射光携带待测样品表面信息；第一矩形光阑，其位于所述第一分光部分的透射光一侧，用于对所述第一透射光进行整形，使得所述第一透射光形成矩形光束；第二分光部分，其位于所述第一矩形光阑的出光侧，用于将所述第一透射光分为具有间距的物光和参考光；第二矩形光阑，其位于所述第二分光部分的出光侧，用于对所述物光和所述参考光进行截取，得到未重叠的部分参考光、部分所述物光和部分所述参考光重叠的重叠部分；图像探测器，其用于采集所述重叠部分形成的离轴全息图和未重叠的部分参考光形成的显微图。
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百度查询： 广东省傲来科技有限公司 一种全息显微测量方法及装置
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