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摘要：本申请提供了一种膜厚测量仪及测量方法，膜厚测量仪包括载物台、探头模块、探头驱动模块和控制器；探头模块包括光源模块和光电转换模块，光电转换模块将待测膜反射的光信号转换为电信号；探头模块设置在探头驱动模块上，探头驱动模块设置有驱动器；控制器根据待测膜的类型读取记录数据，从记录数据中获取驱动器运动参数，根据驱动器运动参数控制驱动器驱动探头模块移动至检测坐标，根据电信号处理得到膜厚数据；实现了自动化测量膜的厚度，节省了人力成本，提高了测量精确度。
主权项：1.一种膜厚测量仪，其特征在于，包括：载物台，所述载物台用于放置待测膜；探头模块，所述探头模块包括光源模块和光电转换模块，所述光源模块用于向所述待测膜发射光线，所述光电转换模块用于将所述待测膜反射的光信号转换为电信号；探头驱动模块，所述探头驱动模块设置在所述载物台上，所述探头模块设置在所述探头驱动模块上，所述探头驱动模块设置有驱动器；控制器，所述控制器用于获取待测膜的类型，根据所述待测膜的类型读取记录数据，从所述记录数据的检测坐标与驱动器运动参数的关系数据中获取驱动器运动参数，根据所述驱动器运动参数控制所述驱动器运动，以驱动所述探头模块移动至检测坐标，根据所述探头模块测量得到的电信号处理得到膜厚数据。
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百度查询： 广州景颐光电科技有限公司 一种膜厚测量仪及测量方法
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