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摘要：本实施例提供的辅助膜厚检测装置及方法，涉及显示技术领域。驱动机构可以驱动第二掩膜版上的掩膜开口相对于第一掩膜版在蒸镀开口的延伸方向移动，如此可以在不同的蒸镀腔蒸镀膜层时，在蒸镀开口限定的蒸镀区域的不同位置处形成蒸镀膜层，以使不同蒸镀膜层形成在一个蒸镀板上以便后续进行膜层厚度测量，减小所需蒸镀板的数量，降低对蒸镀膜层厚度进行监控的成本。
主权项：1.一种辅助膜厚检测装置，其特征在于，所述装置包括：蒸镀板，所述蒸镀板用于蒸镀膜层；第一掩膜版及第二掩膜版，所述第一掩膜版设置有用于在所述蒸镀板上限定出蒸镀区域的蒸镀开口，所述第二掩膜版设置有用于在所述蒸镀区域内限定出蒸镀范围的掩膜开口；驱动机构，所述驱动机构分别与所述第一掩膜版及所述第二掩膜版连接，用于驱动所述第一掩膜版和所述第二掩膜版相对所述蒸镀板移动。
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百度查询： 合肥维信诺科技有限公司 维信诺科技股份有限公司 辅助膜厚检测装置及方法
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