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白光干涉有效图像提取方法、装置、设备、介质及产品 

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摘要:本发明提供了一种白光干涉有效图像提取方法、装置、设备、介质及产品,属于精密光学测量技术领域,其方法包括:基于灰度方差函数和灰度梯度函数分别对待测样品的白光干涉图像序列进行评价,获得灰度方差评价曲线和灰度梯度评价曲线;基于灰度方差评价曲线确定待测样品是否存在台阶;当待测样品存在台阶时,确定台阶区域,并基于台阶区域将灰度方差评价曲线和灰度梯度评价曲线进行融合,获得融合评价曲线;基于融合评价曲线确定台阶的台阶形状,并基于白光干涉图像序列确定白光干涉有效图像的图像数量;基于台阶形状、台阶区域和图像数量确定白光干涉图像序列中的白光干涉有效图像。本发明提高了白光干涉有效图像的提取准确性。

主权项:1.一种白光干涉有效图像提取方法,其特征在于,包括:基于灰度方差函数和灰度梯度函数分别对待测样品的白光干涉图像序列进行评价,获得灰度方差评价曲线和灰度梯度评价曲线;基于所述灰度方差评价曲线确定所述待测样品是否存在台阶;当所述待测样品存在台阶时,确定台阶区域,并基于所述台阶区域将所述灰度方差评价曲线和所述灰度梯度评价曲线进行融合,获得融合评价曲线;基于所述融合评价曲线确定所述台阶的台阶形状,并基于所述白光干涉图像序列确定白光干涉有效图像的图像数量;基于所述台阶形状、所述台阶区域和所述图像数量确定所述白光干涉图像序列中的白光干涉有效图像。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 板石智能科技(深圳)有限公司 白光干涉有效图像提取方法、装置、设备、介质及产品

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