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摘要：本申请公开了一种一体化石英敏感元件抛光装置及其控制方法，涉及光学零件制造技术领域。其中，抛光装置包括：装夹模块和抛光模块；装夹模块包括：装夹模块具有待加工毛坯的夹持空间；当待加工毛坯位于夹持空间时，其加工面环绕于装夹模块外部；装夹模块用于夹持待加工毛坯并带动待加工毛坯沿装夹模块的轴线方向转动；抛光模块，抛光模块与装夹模块相互配合设置；抛光模块的顶部设置有抛光垫，且抛光垫与加工面相接触，抛光垫用于对转动的待加工毛坯进行抛光。该装置安装与拆卸简单，同时便于待加工毛坯抛光期间所需的各项参数测量，满足一体化石英超薄元件精密抛光的工艺需求。
主权项：1.一种一体化石英敏感元件抛光装置，其特征在于，包括：装夹模块（1），所述装夹模块（1）具有待加工毛坯（2）的夹持空间；当所述待加工毛坯（2）位于所述夹持空间时，其加工面环绕于所述装夹模块（1）外部；所述装夹模块（1）用于夹持所述待加工毛坯（2）并带动所述待加工毛坯（2）沿所述装夹模块（1）的轴线方向转动；抛光模块（3），所述抛光模块（3）与所述装夹模块（1）相互配合设置；所述抛光模块（3）的顶部设置有抛光垫，且所述抛光垫与所述加工面相接触，所述抛光垫用于对转动的所述待加工毛坯（2）进行抛光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津津航技术物理研究所 一体化石英敏感元件抛光装置及其控制方法
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