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摘要：本发明涉及一种兼容不同膜厚的显示材料Cu酸蚀刻液及其制备方法与应用。所述的Cu酸蚀刻液，按照重量份计算包括如下组分：过氧化氢5‑20份；过氧化氢稳定剂0.1‑2份；氟化铵0.01‑0.1份；酸性物质5‑15份；有机碱2‑10份；缓蚀剂0.1‑1份；去离子水50‑80份。本发明的铜酸蚀刻液，使蚀刻液整体保持稳定的酸性环境，稳定蚀刻反应pH值，并且可以络合铜离子，使其减弱对过氧化氢的分解；保证在铜离子含量达到6000ppm时，Taper变化在5°以内，且蚀刻反应中，玻璃基板无金属残留，二段角，Mo拖尾现象发生，具有良好的蚀刻效果。
主权项：1.一种兼容不同膜厚的显示材料Cu酸蚀刻液，其特征在于，按照重量份计算，包括如下组分：
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百度查询： 浙江奥首材料科技有限公司 一种兼容不同膜厚的显示材料Cu酸蚀刻液及其制备方法与应用
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