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摘要：本发明涉及一种改善相位移光罩制程中辅助线条线端缩短的方法，其将现有制程中最后的臭氧水冲洗替换成氨水，避免长时间的臭氧水冲洗对金属层造成侵蚀，从而改善了辅助线条线端缩短的问题，为后续制程提高主图形最终在晶圆上的成像精确度提供了基础。
主权项：1.一种改善相位移光罩制程中辅助线条线端缩短的方法，其特征在于：其在相位移光罩第一层描画制程的光阻剥离过程中采用以下步骤来进行光阻的剥离，具体包括以下步骤：S1、采用浓度为5％、流量为1400mLmin的氨水进行冲洗；S2、采用浓度为5％、流量为520mLmin的TMAH溶液进行冲洗；S3、采用浓度为5％、流量为1400mLmin的氨水进行冲洗；S4、采用浓度为40mgL、流量为1320mLmin的臭氧水进行冲洗；S5、采用浓度为5％、流量为600mLmin的氨水进行喷雾清洗；S6、采用浓度为5％、流量为1400mLmin的氨水进行冲洗。
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百度查询： 厦门美日丰创光罩有限公司 一种改善相位移光罩制程中辅助线条线端缩短的方法
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