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摘要：本发明涉及曝光机技术领域，提供曝光机投影镜头系统，其包括：激光模块，用于发射光信号；DMD组件用于接受光信号并经过处理再反射到镜头装置；镜头装置用于对光信号进行投射；冷却液冷却组件安装于DMD组件，并用于对DMD组件降温；冷却液控制组件与冷却液冷却组件连接，用于控制冷却液冷却组件中冷却液的流速和或温度，从而控制DMD组件温度在预设温度范围；本发明通过冷却液冷却组件与DMD组件直接接触；再经冷却液控制组件控制冷却液冷却组件中冷却液的流速，使DMD组件温度不超过30度，使DMD组件在冷却液直接作用的条件下快速降温，保证DMD组件不会因温度过高损坏，同时温度的降低也能使DMD组件能够承受150W及以上的激光功率，使曝光效果更好。
主权项：1.一种曝光机投影镜头系统，其特征在于，包括：激光模块，用于发射光信号；DMD组件，用于接受光信号并经过处理再反射到镜头装置；镜头装置，用于对光信号进行投射；冷却液冷却组件，安装于所述DMD组件，并用于对所述DMD组件降温；冷却液控制组件，与所述冷却液冷却组件连接，用于控制所述冷却液冷却组件中冷却液的流速和或温度，从而控制所述DMD组件温度在预设温度范围。
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百度查询： 广东科视光学技术股份有限公司 一种曝光机投影镜头系统及高效率曝光机
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