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摘要:本公开涉及图案投影仪。一种光电子装置,该光电子装置包括半导体基板和多个发射器阵列,该多个发射器阵列设置在该半导体基板上并且被配置为发射光辐射束。光学基板安装在该半导体基板上。光学超构表面设置在该光学基板上,并且包括多个光学孔径。每个孔径被配置为接收由相应的发射器阵列发射的光束、将这些光束准直并分成相应的准直子光束组,以便将这些准直子光束以不同的相应角度引向目标,以在该目标上形成光点图案。
主权项:1.一种光电子装置,包括:半导体基板;多个发射器阵列,所述多个发射器阵列设置在所述半导体基板上并且被配置为发射光辐射束;光学基板,所述光学基板安装在所述半导体基板上;和光学超构表面,所述光学超构表面设置在所述光学基板上,并且包括多个光学孔径,每个孔径被配置为接收由相应的所述发射器阵列发射的光束、将所述光束准直并分成相应的准直子光束组,以便将所述准直子光束以不同的相应角度引向目标,以在所述目标上形成光点图案。
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