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摘要：本发明的一个方式的液供给系统包括罐体71、循环管线72、泵73、过滤器76、背压阀80和控制部18。罐体71贮存处理液L。循环管线72将从罐体71送出的处理液L送回罐体71。泵73形成循环管线72中的处理液L的循环流。过滤器76设置在循环管线72的泵73的下游侧。背压阀80设置在循环管线72的过滤器76的下游侧。控制部18控制各部。此外，控制部18在使泵73的工作停止时，在从泵73的出口压力开始下降至泵73停止工作的期间，控制泵73和背压阀80，以使得过滤器76的上游侧与下游侧的压差成为给定的阈值以下。
主权项：1.一种液供给系统，其特征在于，包括：贮存处理液的罐体；循环管线，其将从所述罐体送出的所述处理液送回所述罐体；泵，其形成所述循环管线中的所述处理液的循环流；过滤器，其设置在所述循环管线的所述泵的下游侧；背压阀，其设置在所述循环管线的所述过滤器的下游侧；和控制各部的控制部，所述控制部在使所述泵的工作停止时，在从所述泵的出口压力开始下降至所述泵停止工作的期间，控制所述泵和所述背压阀，以使得所述过滤器的上游侧与下游侧的压差成为给定的阈值以下。
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百度查询： 东京毅力科创株式会社 液供给系统、液处理装置和液供给方法
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