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摘要：本发明实施例提供了一种基于相变材料光栅的光束可控变向垂直腔面发射激光器，激光器包括：VCSEL主体及平整化层；VCSEL主体包括衬底层、n型布拉格反射镜、有源层、电流限制层、p型布拉格反射镜、相变材料光栅、p型电极及n型电极，n型布拉格反射镜、有源层、电流限制层、p型布拉格反射镜及相变材料光栅由下至上依次设置在平整化层内，衬底层设置在平整化层的下端面；其中，相变材料光栅由多个平行设置的条状光栅构成；p型电极设置在相变材料光栅的外周，平整化层的外周设置有凹部，凹部的底面设置有与n型布拉格反射镜电连接的n型电极。本发明实施例可实现对激光器的快速、可编程的非易失光束出射角度调整，提高光束调控效率。
主权项：1.一种基于相变材料光栅的光束可控变向垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述激光器包括：VCSEL主体及平整化层；所述VCSEL主体包括衬底层、n型布拉格反射镜、有源层、电流限制层、p型布拉格反射镜、相变材料光栅、p型电极及n型电极，所述n型布拉格反射镜、所述有源层、所述电流限制层、所述p型布拉格反射镜及所述相变材料光栅由下至上依次设置在所述平整化层内，所述衬底层设置在所述平整化层的下端面；其中，所述相变材料光栅由多个平行设置的条状光栅构成；所述p型电极设置在所述相变材料光栅的外周，所述平整化层的外周设置有凹部，所述凹部的底面设置有与所述n型布拉格反射镜电连接的所述n型电极。
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百度查询： 深圳技术大学 基于相变材料光栅的光束可控变向垂直腔面发射激光器
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