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摘要：本申请设计一种基于波导光栅的光束偏转器，其特征在于，包括：MEMS微镜和硅基波导光栅，其中MEMS微镜，包括：硅衬底、器件层、悬臂梁、微镜镜面、驱动组件和微镜驱动信号生成电路；硅衬底设置有衬底槽，悬臂梁设置在衬底槽上，悬臂梁两端分别连接微镜镜面和器件层，在外加电信号作用下，微镜镜面绕悬臂梁转动；该偏转器结构简单，调整方便，无需调整复杂光路和对准精度，解决了现有偏转装置中需要使用电机控制对准多面棱镜进行反射的技术问题。
主权项：1.一种基于波导光栅的光束偏转器，其特征在于，包括：MEMS微镜和硅基波导光栅，其中MEMS微镜，包括：硅衬底、器件层、悬臂梁、微镜镜面、驱动组件和微镜驱动信号生成电路；硅衬底设置有衬底槽，悬臂梁设置在衬底槽上，悬臂梁两端分别连接微镜镜面和器件层，在外加电信号作用下，微镜镜面绕悬臂梁转动；其中硅基波导光栅，包括：二氧化硅下包层和波导层，二氧化硅下包层位于波导层下层，且二氧化硅下包层和波导层形状一致，设置于MEMS微镜表面，形状为条形，一端位于微镜中心，另一端设置于器件层；波导层包括耦入光栅、耦出光栅和波导，耦出光栅位于MEMS微镜上方，耦入光栅位于器件层上方，波导位于耦出光栅和耦入光栅之间；耦入光栅用于耦合外部光源，光束进入波导发生全内反射后经耦出光栅衍射输出垂直于镜面的扫描光；光源进入波导后对MEMS微镜施加外加驱动信号，微镜镜面带动输出光束偏转，光束偏转器实现一维光束偏转。
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百度查询： 东南大学 一种基于波导光栅的光束偏转器
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