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摘要：本发明涉及光学测量技术领域，特别是一种光阑宽度测量系统及方法；包括辐射光源、光谱调制单元、衍射单元和探测单元，辐射光源发射辐射光至光谱调制单元，辐射光经光谱调制单元进行波长调节后入射至待测掩膜版，衍射单元用于对衍射信号进行场的调制，调制后的衍射光束经所述探测单元接收后形成对应能量分布，并测量光阑宽度；本发明通过设计一种光阑宽度测量系统，结合光谱调制单元的波长调试和滤波特性，实现测试光源的筛选和调制，基于夫琅禾费衍射原理构建待测试样品的衍射结构，通过波长调试的变化测量样品衍射后的变化图样，实现反射型或透射型微纳尺寸的测量；测量准确度高，系统成本较低，应用场景广泛，适用于大批量检测。
主权项：1.一种光阑宽度测量系统，用于检测掩膜版的光阑宽度，其特征在于，包括：辐射光源、光谱调制单元、衍射单元和探测单元，所述光谱调制单元和所述衍射单元之间预留有用于容纳待测掩膜版的检测位，所述辐射光源发射辐射光至所述光谱调制单元，辐射光经所述光谱调制单元进行波长调节后入射至待测掩膜版，所述衍射单元用于对待测掩膜版进行远程衍射并对衍射信号进行场的调制，调制后的衍射光束经所述探测单元接收后形成用于识别光阑宽度对应能量分布。
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权利要求：
百度查询： 昂纳科技(深圳)集团股份有限公司 一种光阑宽度测量系统及方法
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