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摘要：本发明属于光刻技术领域，具体涉及一种酚醛树脂型I线光刻胶组合物及其制备方法和图案化方法与应用。所述光刻胶组合物包括酚醛树脂、感光剂、添加剂和溶剂；所述感光剂包括具有式1所示结构的第一感光化合物、具有式2所示结构的第二感光化合物和具有式3所示结构的第三感光化合物。本发明的关键在于引入具有特定结构的第一感光化合物、第二感光化合物和第三感光化合物作为感光剂，再与酚醛树脂、添加剂和溶剂配合，由此得到的酚醛树脂型I线光刻胶组合物具有良好的灵敏度、分辨率和抗刻蚀性能。
主权项：1.一种酚醛树脂型I线光刻胶组合物，其特征在于，该光刻胶组合物包括酚醛树脂、感光剂、添加剂和溶剂；所述感光剂包括具有式1所示结构的第一感光化合物、具有式2所示结构的第二感光化合物和具有式3所示结构的第三感光化合物； 式1、2和3中，R1～R10各自独立地为氢原子、式4所示结构或式5所示结构，且R1～R4中至少有一个为式4所示结构或式5所示结构，R5和R6中至少有一个为式4所示结构或式5所示结构，R7～R10中至少有一个为式4所示结构或式5所示结构，*表示与氧原子键连的位置。
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百度查询： 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 一种酚醛树脂型I线光刻胶组合物及其制备方法和图案化方法与应用
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