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摘要:本发明公开了一种大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线及方法,所述制备生产线包括依次连接的上料平台,进料腔体,第一缓冲腔体,真空蒸镀沉积工艺腔体,第二缓冲腔体,真空传输腔体,第三缓冲腔体,原子层沉积工艺腔体,出料腔体和卸料平台;所述真空蒸镀沉积工艺腔体中设置有蒸发源,所述进料腔体和出料腔体的两侧设置有闸阀,各腔体上设置抽真空装置使得腔体内部形成真空腔室,所述真空腔室的两侧设置传动输送装置带动真空腔室内的输送载盘向前输送,每个腔体上至少设置一路冷却管道,腔体与腔体间设有闸板隔离装置。本发明能够提升钙钛矿太阳能电池的效率和减少载流子复合;各腔体内部隔断,拆卸维护方便快捷,并具有良好的密封性。
主权项:1.一种大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线,其特征在于,包括依次连接的上料平台(1),进料腔体(2),第一缓冲腔体(3),真空蒸镀沉积工艺腔体(4),第二缓冲腔体(5),真空传输腔体(6),第三缓冲腔体(7),原子层沉积工艺腔体(8),出料腔体(9)和卸料平台(10);所述真空蒸镀沉积工艺腔体(4)中设置有蒸发源,用于制备电子传输层;所述原子层沉积腔体(8)用于制备电子传输层或界面修饰层;所述进料腔体(2)和出料腔体(9)用于抽放大气,设置传输速度;所述进料腔体(2)和出料腔体(9)的两侧设置有闸阀,各腔体上设置抽真空装置使得腔体内部形成真空腔室,所述真空腔室的两侧设置传动输送装置带动真空腔室内的输送载盘从进料腔体(2)依次向前输送至出料腔体(9),每个腔体上至少设置一路冷却管道,腔体与腔体间设有闸板隔离装置。
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