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摘要：本发明涉及一种处理衬底的衬底处理方法及衬底处理装置。本发明中，将凝固点低于吸附物质的凝固点的干燥前处理液供给至衬底W的表面，使吸附物质吸附于图案P1的表面。冷却衬底W上的干燥前处理液，由此使衬底W上的干燥前处理液的一部分凝固而沿着图案P1的表面形成含有吸附物质的凝固膜101。一面使凝固膜101残留于衬底W的表面，一面将未用于形成凝固膜101的剩余的干燥前处理液自衬底W的表面去除。当将剩余的干燥前处理液去除后，或与将剩余的干燥前处理液去除同时地，通过使凝固膜101变成气体而将凝固膜101自衬底W的表面去除。
主权项：1.一种衬底处理方法，包含：干燥前处理液供给步骤，将干燥前处理液供给至衬底的表面，使吸附物质吸附于图案的表面，该干燥前处理液包含：所述吸附物质，吸附于形成在所述衬底的所述图案的表面；及溶解物质，相对于所述图案的表面的亲和性较所述吸附物质低，且能与所述吸附物质溶合；且该干燥前处理液的凝固点低于所述吸附物质的凝固点；冷却步骤，以低于所述吸附物质的凝固点的冷却温度，冷却所述衬底的表面上的所述干燥前处理液，由此使所述衬底的表面上的所述干燥前处理液的一部分凝固，而沿着所述图案的表面形成含有所述吸附物质的凝固膜；余液去除步骤，一面使所述凝固膜残留于所述衬底的表面，一面将未用于形成所述凝固膜的剩余的所述干燥前处理液自所述衬底的表面去除；及固体去除步骤，当将剩余的所述干燥前处理液自所述衬底的表面去除后，或与将剩余的所述干燥前处理液自所述衬底的表面去除同时地，通过使所述凝固膜变成气体而将所述凝固膜自所述衬底的表面去除；且所述固体去除步骤包含图案复原步骤，即，通过将所述凝固膜自隔着所述凝固膜接触的崩坏的2个所述图案之间去除，而利用所述图案的复原力将崩坏的所述图案的形状复原。
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百度查询： 株式会社斯库林集团 衬底处理方法及衬底处理装置
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