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摘要：本发明提供了一种蓝宝石衬底单元化及侧面金属化制备方法，包括以下步骤：S1、激光划切沟槽；S2、表面金属图形化；S21、对电阻区域进行保护，利用光刻胶及SiO2层形成复合膜系对电阻区域进行保护；S3、将蓝宝石衬底粘贴在UV膜表面，裂片后，产品装载在溅射夹具上进行侧面金属溅射；S4、加厚产品的侧面金属溅射层的金属膜层。采用本发明，通过激光切割与裂片相结合，实现了蓝宝石衬底的裂片单元化；切割边缘崩边小，切割面平整，有效降低了激光切割的热影响区，在成膜前进行划切，避免了膜层的烧蚀现象；先溅射后加厚金属膜层，保证了膜层厚度及电性能，降低了工艺加工难度，保障侧面金属化膜层的附着力及稳定性。
主权项：1.一种蓝宝石衬底单元化及侧面金属化制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、激光划切沟槽，采用激光刻蚀工艺，在蓝宝石衬底表面按照产品单元尺寸划切沟槽；S2、表面金属图形化，对激光划切后的蓝宝石衬底进行擦拭，去除激光熔渣并清洗后，溅射所需金属膜系，光刻出所需产品图形，剥离剩余的金属膜层，实现表面金属图形化；S3、裂片、装载夹具及金属溅射，将蓝宝石衬底粘贴在UV膜表面，所划切的沟槽面朝上，用裂片机沿着沟槽进行裂片单元化，然后将裂片后的产品装载在溅射夹具上，用惰性气体吹扫，并清洗后进行侧面金属溅射；S4、加厚产品的侧面金属溅射层的金属膜层，完成蓝宝石衬底单元化及侧面金属化。
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百度查询： 深圳市振华微电子有限公司 蓝宝石衬底单元化及侧面金属化制备方法
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