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摘要：本发明公开了一种厚度及双侧面形同步检测系统及方法，属于光学测量技术领域，包括光源系统、偏转反射系统、相机采集系统与处理系统，偏转反射系统包括分解单元和集成单元，该系统通过分解单元将光信号分投至待测物体上下表面，再由集成单元汇聚反射光为合成信号，由相机捕获生成图像。处理系统分析图像，精准获取物体的厚度及双侧面形数据。本发明融合测厚与面形检测功能，仅用一套设备即完成两项独立测量任务，大幅削减了设备运作与购置成本。

主权项：1.一种厚度及双侧面形同步检测系统，其特征在于，包括：光源系统、偏转反射系统、相机采集系统、处理系统；所述光源系统用于提供光信号；所述偏转反射系统包括分解单元和集成单元，所述分解单元用于将所述光信号分解成两束子光信号分别倾斜投射在待测物体的上下表面，所述集成单元用于将所述待测物体的上下表面分别反射的子光信号集成为一束合成光信号并输出给所述相机采集系统；所述相机采集系统用于采集集成单元输出的合成光信号并生成图像数据；所述处理系统用于对所述图像数据进行分析，获取待测物体的厚度及面形数据；所述分解单元包括：第一平面镜、第一分光棱镜、第一反射镜和第二反射镜；所述光源系统发射的光信号通过所述第一平面镜反射到所述第一分光棱镜，所述第一分光棱镜将所述光信号分解成两束子光信号，一束子光信号经第一反射镜反射在所述待测物体的上表面，另一束子光信号经过第二反射镜反射在所述待测物体的下表面；所述集成单元包括：第三反射镜、第四反射镜、第二分光棱镜、第二平面镜；所述第三反射镜接收所述待测物体的上表面反射的子光信号并反射给所述第二分光棱镜，所述第四反射镜接收所述待测物体的下表面反射的子光信号并反射给所述第二分光棱镜，所述第二分光棱镜将接收到的两束子光信号集成为一束合成光信号并投射给所述第二平面镜，所述第二平面镜将所述合成光信号反射给所述相机采集系统；所述处理系统包括单侧重建单元、融合单元、厚度检测单元；所述单侧重建单元用于基于所述相机采集系统采集的图像数据分别构建所述待测物体的上表面面形数据和下表面面形数据；所述融合单元用于基于上下表面之间的变换矩阵将所述待测物体的所述上表面面形数据和下表面面形数据进行统一和拼接，得到所述待测物体完整面形数据；所述厚度检测单元，用于根据所述完整面形数据得到所述待测物体的厚度。

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