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摘要：本发明涉及带有碳基涂层的织物基材并且涉及用于将疏水性碳基涂层沉积在织物基材上的空心阴极等离子体增强化学气相沉积方法。在某些实施例中，本发明在织物基材上提供了耐磨疏水性碳基涂层。
主权项：1.一种用于在织物基材上产生碳基涂层的方法，所述方法包括以下的阶段：•提供织物基材；•提供线性空心阴极类型的第一等离子体源，所述第一等离子体源包括连接到AC、DC或脉冲DC发生器的至少一对空心阴极等离子体生成电极，用于将所述碳基涂层沉积在所述织物基材上；•以每延米所述第一等离子体源的等离子体1500与4500sccm之间的流量将第一等离子体生成气体注入所述第一等离子体源的电极中；•向所述第一等离子体源施加第一电力，使得所述等离子体的第一功率密度在每延米所述第一等离子体源的等离子体4kW与15kW之间；•以每延米所述第一等离子体源的等离子体100与500sccm之间的流量注入碳的气态前体，所述气态前体被注入到至少在所述第一等离子体源的每个电极对的所述电极之间的等离子体中；•通过将所述织物基材暴露于所述第一等离子体源的所述等离子体将碳基涂层沉积在所述织物基材的表面上，和•提供线性空心阴极类型的第二等离子体源，所述第二等离子体源包括连接到AC、DC或脉冲DC发生器的至少一对空心阴极等离子体生成电极，用于所述织物基材的表面活化；•以每延米所述第二等离子体源1500与4500sccm之间的流量将第二等离子体生成气体注入所述第二等离子体源的电极中；•向所述第二等离子体源供应第二电力，使得所述等离子体的第二功率密度在每延米所述第二等离子体源的等离子体10kW与20kW之间，以及•通过将所述织物基材暴露于所述第二等离子体源的所述等离子体来活化所述织物基材的表面，然后通过将所述织物基材暴露于所述第一等离子体源的所述等离子体将所述碳基涂层沉积在所述织物基材的表面上。
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百度查询： 旭硝子欧洲玻璃公司 带有碳基涂层的织物基材及其制造方法
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