龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明涉及一种涂布装置。形成有多个孔部43的截流环41配置在内罩21的下端26A，且具有与外罩23的从外周壁29到间壁31为止的宽度大致相同的环宽。由于从内罩21滴落的涂布液的一部分被截流环41拦截，因此能够防止因冰柱状的涂布液导致底排气通路PT2堵塞。另外，当气体从外排气通路PT1流向底排气通路PT2时，截流环41能够捕获涂布液雾气。进而，当气体从底排气通路PT2流向内排气通路PT3时，截流环41能够进一步捕获残留的涂布液雾气。能够提高处理液雾气的捕获效率。
主权项：1.一种涂布装置，其特征在于具备：旋转吸盘，保持衬底；旋转轴，设置在所述旋转吸盘的下表面，能够与所述旋转吸盘一起绕铅直轴旋转；圆筒状内罩，配置在所述旋转轴的周围；外罩，收容被所述旋转吸盘保持的衬底及所述内罩，且具有与所述内罩的下端隔开地配置的中空圆板状的底部、从所述底部的外缘部向上方延伸且配置在所述内罩周围的圆筒状外周壁、及从所述底部的内缘部向上方延伸且配置在所述内罩内侧的圆筒状间壁；外排气通路，为所述外罩的所述外周壁与所述内罩之间的间隙；底排气通路，与所述外排气通路连通，为所述内罩的下端与所述外罩的所述底部之间的间隙；内排气通路，与所述底排气通路连通，为所述内罩与所述外罩的所述间壁之间的间隙；排气部，将所述外排气通路、所述底排气通路及所述内排气通路从所述外罩的所述间壁的内周侧进行排气；及截流环，形成有多个孔部；且所述截流环配置在所述内罩的下端，具有与从所述外罩的所述外周壁到所述间壁为止的宽度大致相同的环宽；所述截流环以在与所述外周壁之间及与所述间壁之间具有间隙的方式配置。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号