龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明提供了一种光刻胶涂布设备及涂布方法，涉及涂胶工艺技术领域。包括第一涂布组件和第二涂布组件，所述第一涂布组件适于将光刻胶以厚涂的形式涂布在基板上进行初步涂胶，所述第二涂布组件设置于所述第一涂布组件的下游端，以将所述第一涂布组件涂布后的光刻胶层剪薄至预设的涂布厚度，并修复第一涂布组件涂布时的漏涂部位以避免漏涂光刻胶现象。通过本方案可以提高涂胶均匀性以及提高生产效率。
主权项：1.一种光刻胶涂布设备，其特征在于，包括第一涂布组件和第二涂布组件，所述第一涂布组件适于将光刻胶以厚涂的形式涂布在基板上进行初步涂胶，所述第二涂布组件设置于所述第一涂布组件的下游端，以将所述第一涂布组件涂布后的光刻胶层剪薄至所需的涂布厚度，并修复第一涂布组件涂布时的漏涂部位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门芯瓷科技有限公司 一种光刻胶涂布设备及涂布方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号