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摘要：本申请适用于基于光学原理的微电子器件温度检测领域，提供了一种实现热反射成像测温的自动重聚焦的方法和装置，该方法包括：基于参考图像和被测件温度变化，获取参考图像的矩形区域，计算矩形区域清晰度；参考图像为温度不变时聚焦清晰的图像；基于被测件温度变化和矩形区域清晰度，调节三轴纳米位移台；每次调节三轴纳米位移台后，获取当前测量图像，计算矩形区域清晰度；当前测量图像仍包含矩形区域；通过判断当前被测件的温度、三轴纳米位移台的位移和当前矩形区域清晰度是否满足预设温度阈值条件、预设位移阈值条件和预设清晰度条件，确定测量结果。本申请能够提高测温结果准确性，为实现高空间分辨率下的热反射成像测温奠定基础。

主权项：1.一种实现热反射成像测温的自动重聚焦的方法，其特征在于，包括：基于参考图像，获取所述参考图像的矩形区域，计算所述矩形区域清晰度；所述参考图像为温度不变时聚焦清晰的图像；所述获取所述参考图像的矩形区域，计算所述矩形区域清晰度，包括：获取所述参考图像；基于所述参考图像，获取所述参考图像的矩形区域；所述矩形区域为所述参考图像的一部分，所述矩形区域包含被测件目标区域图像；基于所述矩形区域的数据，计算当前所述矩形区域清晰度；基于被测件温度变化和所述矩形区域清晰度，调节三轴纳米位移台；控温装置获取所述被测件温度变化；所述被测件放置在所述控温装置上；所述控温装置放置在所述三轴纳米位移台上；所述基于所述被测件温度变化和所述矩形区域清晰度，调节三轴纳米位移台，包括：根据所述被测件的温度变化情况预测所述被测件垂直位置的变化方向；基于所述被测件垂直位置的变化方向，设定每次三轴纳米位移台的步进；基于所述每次三轴纳米位移台的步进，向所述被测件垂直位置的变化方向的相反方向移动；所述基于所述被测件温度变化和所述矩形区域清晰度，调节三轴纳米位移台，还包括：当所述三轴纳米位移台移动多次后，比较当前清晰度的数据值和上一次清晰度的数据值，若所述当前清晰度的数据值比上一次清晰度的数据值大，则当前三轴纳米位移台的步进为上一次三轴纳米位移台的步进，移动方向与上一次移动方向相同；若所述当前清晰度的数据值比上一次清晰度的数据值小，则重新计算所述当前三轴纳米位移台的步进，移动方向与上一次移动方向相反；每次调节所述三轴纳米位移台后，获取当前测量图像，计算所述矩形区域清晰度；当前测量图像仍包含所述矩形区域；通过判断当前所述被测件的温度、所述三轴纳米位移台的位移和当前矩形区域清晰度是否满足预设温度阈值条件、预设位移阈值条件和预设清晰度条件，确定测量结果。

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百度查询： 中国电子科技集团公司第十三研究所 实现热反射成像测温的自动重聚焦的方法和装置