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摘要：本发明涉及一种高效原子沉积层镀膜设备自动上下料系统，包括机架和腔室，在所述机架一侧安装有第一垂直模组，在位于腔室入口处设置有第二垂直模组；在所述第二垂直模组两侧的机架上分别设置有第一输送机构和第二输送机构，在所述第一输送机构的输送方向两侧分别设置有起到衔接作用的第一接料机构和第二接料机构；在所述第二输送机构靠近第二垂直模组处的机架上设置有第三接料机构；在所述第二输送机构上设置有冷却系统，经过镀膜以后的电池片进入冷却系统冷却。本发明可以有效的将电池片自动传输至镀膜腔室内，镀膜后再自动的将电池片传输至冷却工位，冷却后再自动下料，解决的主要是针对原子沉积层镀膜设备的一次性上下料的问题。

主权项：1.一种高效原子沉积层镀膜设备自动上下料系统，包括机架和腔室，所述腔室设置于机架中间，其特征在于：在所述机架一侧安装有用于上下料镀膜电池片的第一垂直模组，在位于腔室入口处设置有用于将镀膜电池片送入或送出腔室的第二垂直模组；在所述第二垂直模组两侧的机架上分别设置有第一输送机构和第二输送机构，所述第一输送机构位于第一垂直模组和第二垂直模组之间，同时在所述第一输送机构的输送方向两侧分别设置有起到衔接作用的第一接料机构和第二接料机构，第一接料机构实现花篮在第一垂直模组与第一输送机构之间的接驳，所述第二接料机构实现花篮在第一输送机构与第二垂直模组之间的接驳；在所述第二输送机构靠近第二垂直模组处的机架上设置有第三接料机构，所述第三接料机构实现花篮在第二输送机构与第二垂直模组之间的接驳；在所述第二输送机构上设置有冷却系统，经过镀膜以后的电池片进入冷却系统冷却，冷却完毕后由第二输送机构，配合第三接料机构、第二输送机构送入第一输送机构，再由第一输送机构配合第一接料机构送入第一垂直模组，完成上下料；所述第一接料机构、第二接料机构和第三接料机构为相同的结构，包括固定底板，所述固定底板与机架固定连接，在所述固定底板上设置有顶升气缸，所述顶升气缸的输出端与固定底板上方平行设置的升降板连接，在所述升降板的底部四角分别设置有导向杆，所述导向杆向下穿过固定底板后通过固定框架固定；在所述升降板上通过直线导轨配合设置有花篮固定板，在所述花篮固定板上固定设置有花篮托板，盛装电池片的花篮置于花篮托板上，在所述升降板的一侧安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端设置有丝杆，所述丝杆与直线导轨平行布置，在所述丝杆上配合设置有移动滑块，所述移动滑块与花篮固定板固定连接；所述冷却系统包括底座支架，所述底座支架将整个冷却系统固定在机架上，在所述底座支架上均匀间隔布置有冷却单元，所述冷却单元位于第二输送机构的传送带上方，相邻两个冷却单元形成花篮输送通道；所述冷却单元由并排间隔布置的冷却气支管和冷却水支管组成，所述冷却单元的两端分别设置有前端冷却气竖管和后端冷却水竖管，所述前端冷却气竖管与冷却单元中的冷却气支管连通，所述后端冷却水竖管与冷却单元中的冷却水支管连通，同时在所述冷却气支管的内侧面上开设喷气口，所有的前端冷却气竖管与一根冷却气总管7连通，并且在冷却气总管上连接进气接头，在所述冷却单元的前端侧面设置有前端冷却水竖管，在所述冷却单元中具有一根冷却水出水支管，所有的冷却水出水支管通过一根冷却水出水总管相连通，并且在冷却水出水总管上连接有出水接头，所述冷却单元中除冷却水出水支管外的冷却水支管与前端冷却水竖管相连通，所有前端冷却水竖管与一根冷却水总管相连通，所述冷却水总管上设置有进水接头。

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百度查询： 江阴德龙能源设备有限公司 高效原子沉积层镀膜设备自动上下料系统