Document
拖动滑块完成拼图
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

测试结构及测试方法 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

摘要:一种测试结构及测试方法,其中测试结构包括:基底;位于所述基底上的待测第一导电层,所述待测第一导电层内具有若干第一隔断;位于所述基底上相互平行排列的多个待测第二导电层,每个所述待测第二导电层内均具有若干第二隔断,且至少一个待测第二导电层与待测第一导电层电连接;位于所述基底上相互平行排列的若干第一导电层,每个所述第一导电层与待测第二导电层电连接;与所述待测第一导电层电连接的第一测试端;与一个所述第一导电层电连接的第二测试端。通过所述测试结构进行测试,以满足对不同待测导电层内的电连接和电隔断进行测试,以满足晶圆可接受测试需求。

主权项:1.一种测试结构,其特征在于,包括:基底;位于所述基底上的待测第一导电层,所述待测第一导电层内具有若干第一隔断;位于所述基底上相互平行排列的多个待测第二导电层,每个所述待测第二导电层内均具有若干第二隔断,且至少一个待测第二导电层与待测第一导电层电连接;位于所述基底上相互平行排列的若干第一导电层,每个所述第一导电层与待测第二导电层电连接;与所述待测第一导电层电连接的第一测试端;与一个所述第一导电层电连接的第二测试端;所述待测第一导电层在所述待测第二导电层上层,或者所述待测第一导电层在所述待测第二导电层下层;所述待测第一导电层与所述待测第二导电层通过第一插塞电连接;所述待测第二导电层在所述第一导电层上层,或者所述待测第二导电层在所述第一导电层下层;各所述待测第二导电层与各第一导电层通过第二插塞电连接;相邻待测第二导电层内的第二隔断,沿垂直于待测第二导电层延伸方向上的中线不重合。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 测试结构及测试方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。