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摘要：本发明涉及一种设有镂空部的压电能量采集器及其制备方法，方法包括：S1：获取硅基板，对该硅基板进行清洗以及干燥处理；S2：获取PZT压电层，分别在步骤S1获取的硅基板上侧和PZT压电层的下侧镀接金属层；S3：将硅基板和PZT压电层的金属层共晶键合；S4：对PZT压电层的上侧进行研磨减薄至预设的厚度范围；S5：在硅基板的下表面进行刻蚀得到凹槽；S6：采用KrF准分子激光器在凹槽区域进行镂空处理，形成镂空部，得到最终的压电能量采集器。与现有技术相比，本发明具有工艺步骤少、加工过程简单、固有频率低、功率输出高等优点。
主权项：1.一种设有镂空部的压电能量采集器，其特征在于，包括自下而上依次设置的硅基板7、金属层8和PZT压电层9，所述硅基板7和PZT压电层9通过所述金属层8共晶键合连接，所述硅基板7的中部下侧设有凹槽，该凹槽区域设有贯穿所述硅基板7、金属层8和PZT压电层9的镂空部3；所述硅基板7在所述凹槽的两侧分别形成有固定端2和自由端，所述自由端的上侧连接有上部质量块5、下侧连接有下部质量块6；所述镂空部3的形状为封闭的梯形结构。
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百度查询： 上海应用技术大学 一种设有镂空部的压电能量采集器及其制备方法
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