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摘要：本发明属于MEMS声光器件技术领域，公开了一种基于SOI的兰姆波声光调制器，包括SOI平台、波导组件和压电组件，波导组件集成在SOI平台上，SOI平台经刻蚀后形成有空腔，压电组件位于空腔的上方，压电组件激发产生的兰姆波经SOI平台传递至波导组件。本发明将用于激发产生兰姆波的压电组件与波导组件结合，采用更高频率范围的兰姆波代替表面波进行调制，结合设置的空腔能够实现更大的频率调制范围和更高的调制效率，基于SOI平台，有着更好的集成潜力，本发明能实现高灵敏度与多频段调制。
主权项：1.一种基于SOI的兰姆波声光调制器，其特征在于，包括：SOI平台、波导组件和压电组件；所述波导组件集成在所述SOI平台上，所述SOI平台经刻蚀后形成有空腔，所述压电组件位于所述空腔的上方，所述压电组件激发产生的兰姆波经所述SOI平台传递至所述波导组件；所述SOI平台的绝缘层经刻蚀后形成有凹槽和所述空腔，所述波导组件沉积在所述凹槽内；所述绝缘层作为传递结构，所述压电组件激发产生的兰姆波经所述传递结构传递至所述波导组件；所述SOI平台中的绝缘层经刻蚀后形成有所述空腔，所述SOI平台中的顶层经刻蚀后形成所述波导组件、所述压电组件、传递结构和支撑结构，所述波导组件、所述压电组件和所述传递结构均位于所述空腔的上方，所述支撑结构位于未刻蚀的绝缘层的上方；所述传递结构的厚度小于所述压电组件的厚度以及所述波导组件的厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉大学 一种基于SOI的兰姆波声光调制器
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