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弹性波器件及模组 

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摘要:本申请提供了一种弹性波器件及模组,该弹性波器件包括支撑层、压电层、功能层以及IDT电极结构,IDT电极结构设置于压电层的上表面;压电层层叠于功能层的上部;功能层层叠于支撑层的上部;其中,IDT电极结构和所述压电层用于激发声速高于6000ms的弹性波,所述主模弹性波的波长为λ;所述弹性波的反谐振频率与所述支撑层的截止频率的间距为550MHz~1000MHz。通过上述弹性波器件,解决了现有技术中高频弹性波器件存在较大高阶杂散问题,在抑制了高频弹性波器件的高阶杂散的同时,提高了弹性波器件的机电耦合系数和品质因数。

主权项:1.一种弹性波器件,自下而上依次包括支撑层、功能层、压电层以及IDT电极结构,其特征在于,所述IDT电极结构设置于所述压电层的上表面;所述压电层层叠于所述功能层的上部;所述功能层层叠于所述支撑层的上部;其中,所述IDT电极结构和所述压电层用于激发声速高于6000ms的弹性波,所述弹性波的波长为λ;所述弹性波的反谐振频率与所述支撑层的截止频率的间距为550MHz~1000MHz。

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