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一种晶圆传递夹具污染自检测装置及其检测工艺 

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摘要:本申请公开了一种晶圆传递夹具污染自检测装置及其检测工艺,包括全透明的隔离膜,所述隔离膜的中部固定连接有连接管,所述隔离膜通过连接管可选择的与吸盘或旋转台连接,所述隔离膜与吸盘连接时能够完全覆盖在吸盘上。本申请能够及时发现晶圆和吸盘被污染,进而降低大量晶圆接触污染物的概率,并间接提高工艺中晶圆的质量,及减少污染物的发生及掉片或坑洞的损失,利用旋转和移动将污染物的特征放大,增加污染物特征的占比,减少计算机对污染物特征分析的计算量,其次,利用规律的运动,形成规律的图形,将其与环境中的静态干扰区分开来,克服环境的影响,提高分析的精准度。

主权项:1.一种晶圆传递夹具污染自检测装置,包括:至少具有三个自由度的机械臂1,所述机械臂1上设有吸盘2,吸盘2连接负压设备;其特征在于:还包括:用于检测污染物的检测盒3,所述检测盒3中设有摄像头8和旋转台7;全透明的隔离膜4,所述隔离膜4的中部固定连接有连接管5,所述隔离膜4通过连接管5可选择的与吸盘2或旋转台7连接,所述隔离膜4与吸盘2连接时能够完全覆盖在吸盘2上,吸盘2的负压直接形成在隔离膜4与晶圆之间,所述隔离膜4与旋转台7连接时,所述旋转台7带动隔离膜4旋转,摄像头8拍摄隔离膜4旋转时的图像并传递到主机,分析图像上是否具有污染物特征。

全文数据:

权利要求:

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