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摘要:本实用新型提供一种辅助上油装置以及测试机台,辅助上油装置包括:包括:夹持部、润滑部以及驱动部;夹持部用于与导轨可拆卸地连接,夹持部的内壁上包覆有润滑部,润滑部在夹持部与导轨连接时,与导轨的外壁相接触,用于向导轨的外壁提供润滑剂;驱动部与夹持部连接,用于驱动夹持部沿第一方向滑动。如此配置,通过夹持部实现与导轨的可拆卸连接,将润滑部包覆在夹持部的内壁上,以向导轨的外壁释放润滑剂,进而实现为导轨上油保养的功能;同时,驱动部与夹持部连接,能够驱动夹持部沿第一方向滑动,避免手工涂抹造成的润滑剂过多造成飞溅至晶圆表面,或润滑剂过少导致设备导轨无法正常运作造成磨损,从而能够保证产品良率以及设备使用寿命。
主权项:1.一种辅助上油装置,其特征在于,包括:夹持部、润滑部以及驱动部;所述夹持部用于与导轨可拆卸地连接,所述夹持部的内壁上包覆有所述润滑部,所述润滑部在所述夹持部与所述导轨连接时,与所述导轨的外壁相接触,用于向所述导轨的外壁提供润滑剂;所述驱动部与所述夹持部连接,用于驱动所述夹持部沿第一方向滑动。
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百度查询: 上海华力微电子有限公司 辅助上油装置以及测试机台
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