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摘要:本实用新型公开了一种新型铜线表面真空镀膜设备,包括放卷机构,放卷机构右侧位置处设置有蒸发腔,蒸发腔右侧位置处设置有收卷机构,放卷机构及收卷机构连接有铜线,放卷机构右侧位置处设置有导辊,蒸发腔左右两侧位置处分别设置有过度腔,蒸发腔底部位置处设置有蒸发块,第一腔室外侧设置有无油螺杆泵,第二腔室外侧设置有双级旋片泵,第四腔室外侧位置处设置有罗茨泵,第四腔室外侧位置处设置有分子泵,过渡腔就对镀膜腔体的前后端进行了真空密封,镀膜腔体按常规标准配真空泵抽气,把基材的收放卷系统放在大气中,基材直接从大气进入真空和再从真空直接进入大气,过程是连续不间断,装卸卷也在设备外进行,提升镀膜速率,减低设备成本。
主权项:1.一种新型铜线表面真空镀膜设备,包括放卷机构(1);所述放卷机构(1)右侧位置处设置有蒸发腔(8),所述蒸发腔(8)右侧位置处设置有收卷机构(13),所述放卷机构(1)及收卷机构(13)连接有铜线(2);其特征在于:所述放卷机构(1)右侧位置处设置有导辊(3),所述蒸发腔(8)左右两侧位置处分别设置有过度腔(9),所述蒸发腔(8)底部位置处设置有蒸发块(12)。
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