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摘要：本实用新型提供了一种显影装置，包括腔体、吸盘、喷嘴、称重传感器、显示屏和电源；吸盘、喷嘴和称重传感器设置在腔体内，显示屏和电源设置在腔体外；喷嘴设置在吸盘的上方，称重传感器与吸盘的下表面连接；称重传感器与显示屏电连接，称重传感器和显示屏分别与电源电连接。在晶圆显影的过程中，可以通过称重传感器和显示屏获取同一型号的多个晶圆在不同重量W的显影液进行显影时实际用于显影的显影液的重量M，然后根据多组W和M数据，拟合得到W‑M曲线，该曲线中突降的临界点B对应的M即为最佳的显影液用量，后续该型号的晶圆均可使用最佳的显影液用量进行显影，这样可以有效减少显影液用量和浪费，降低企业成本。
主权项：1.一种显影装置，其特征在于，包括腔体、吸盘、喷嘴、称重传感器、显示屏和电源；所述吸盘、所述喷嘴和所述称重传感器设置在所述腔体内，所述显示屏和所述电源设置在所述腔体外；所述喷嘴设置在所述吸盘的上方，所述称重传感器与所述吸盘的下表面连接；所述称重传感器与所述显示屏电连接，所述称重传感器和所述显示屏分别与所述电源电连接。
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百度查询： 合肥晶合集成电路股份有限公司 一种显影装置
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