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摘要：本实用新型公开了一种无电极射流等离子体激发装置，属于微波技术领域，包括外壳，所述外壳内设有谐振腔；所述外壳上端固定安装有石英管，所述石英管下端伸入到谐振腔中，并与外壳底部相接触；所述石英管上端伸出外壳之外；所述石英管外套设有环状谐振组件，所述环状谐振组件与石英管同轴设置；所述外壳侧壁上设有微波输入组件，所述微波输入组件用于将微波传输至谐振腔中；所述外壳底部连接有进气管，所述进气管用于向石英管内输送反应气体。本实用新型提供的一种无电极射流等离子体激发装置利用圆柱谐振腔实现高效、无电极的射流等离子体激发，该圆柱谐振腔内包含环状谐振组件和调谐销钉，可实现整个激发装置的小型化。
主权项：1.一种无电极射流等离子体激发装置，其特征在于：包括外壳（1），所述外壳（1）内设有谐振腔；所述外壳（1）上端固定安装有石英管（2），所述石英管（2）下端伸入到谐振腔中，并与外壳（1）底部相接触；所述石英管（2）上端伸出外壳（1）之外；所述石英管（2）外套设有环状谐振组件（3），所述环状谐振组件（3）与石英管（2）同轴设置；所述外壳（1）侧壁上设有微波输入组件，所述微波输入组件用于将微波传输至谐振腔中；所述外壳（1）底部连接有进气管（4），所述进气管（4）用于向石英管（2）内输送反应气体；所述外壳（1）包括两端开口的圆筒状的壳体（11），所述壳体（11）的上下两端分别设有与壳体（11）密封配合的上端盖（12）和下端盖（13）；所述上端盖（12）的中部设有第一通孔，所述石英管（2）下端穿过第一通孔伸入到谐振腔中，并与所述下端盖（13）接触；所述下端盖（13）的中部设有第二通孔，所述进气管（4）伸入第二通孔中和石英管（2）连通。
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