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摘要：本申请提供一种柔性电极及柔性电极的制备方法，柔性电极包括绝缘底层、绝缘顶层以及设置在绝缘底层上的金属布线层，金属布线层包括顶层、中层和底层，顶层设置在底层上，顶层层厚小于底层层厚。本申请实施例通过调节金属布线层顶层和底层厚度以控制顶层和底层之间的残余应力大小，利用制备后存储到电极器件内的残余应力，实现柔性电极从衬底上释放后的自卷曲效果，通过调节残余应力大小获得特定曲率半径，使柔性电极适应不同直径的动物外周神经，提高电极与神经外周的贴合程度，增大电极与神经外周的有效接触面积，使用贻贝粘蛋白进行黏合固定，能够在体内湿润环境下长期在体应用，提高电极工作稳定性和可靠性，提高神经调控的效率和安全性。
主权项：1.一种柔性电极，其特征在于，所述柔性电极包括绝缘底层以及设置在所述绝缘底层上的金属布线层，所述金属布线层包括顶层和底层，所述顶层设置在所述底层上，所述顶层的层厚小于所述底层的层厚。
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百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 柔性电极及柔性电极的制备方法
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