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摘要：本发明涉及真空技术领域，具体涉及一种具有蜂窝活性炭板的吸附低温泵，包括主支架、壳体、顶法兰和泵组件，泵组件包括吸附组件、屏蔽组件、第一冷质管和第二冷质管，吸附组件包括多个吸附模块，屏蔽组件包括多个屏蔽模块，每个屏蔽模块匹配一个吸附模块构成泵模块，吸附模块包括吸附冷板和蜂窝活性炭板；本发明采用蜂窝活性炭板代替传统的颗粒或柱状活性炭，大幅提高了单位面积的吸附表面积和使用量，提升了泵的抽气性能，避免了低温胶粘接过程中孔隙淹没和吸附剂脱落的问题，使得吸附效率更加稳定可靠。
主权项：1.一种具有蜂窝活性炭板的泵模块，其特征在于，屏蔽模块和吸附模块；所述屏蔽模块包括：第一屏蔽板和第二屏蔽板，所述第一屏蔽板和所述第二屏蔽板的两长边均与第一冷质管连接，且所述第一屏蔽板和所述第二屏蔽板之间设置有夹角；所述吸附模块包括：吸附冷板16和蜂窝活性炭板17，所述吸附冷板16与第二冷质管连接，所述蜂窝活性炭板17与所述吸附冷板16的一个侧面或两个侧面贴合，所述蜂窝活性炭板17的蜂窝孔19包括封口端和开口端，所述蜂窝孔19的封口端与所述吸附冷板16相接。
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权利要求：
百度查询： 核工业西南物理研究院 一种具有蜂窝活性炭板的泵模块、泵组件及吸附低温泵
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