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曝光设备及近眼显示设备 

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摘要:本申请实施例公开了一种曝光设备及近眼显示设备,属于光学技术领域。该曝光设备包括:激光器、偏振分束镜、液晶空间光调制器、第一反射组件、第二反射组件和耦合组件;激光器出射光束,偏振分束镜将透射P偏振光且反射S偏振光;偏振分束镜的第一出光侧和第二出光侧中的至少一侧具有液晶空间光调制器,液晶空间光调制器对入射的光束的相位和振幅进行调制,以使出射的光束为能量分布渐变的光束,第一反射组件反射偏振分束镜的第一出光侧的光束,第二反射组件反射偏振分束镜的第二出光侧的光束,耦合组件用于承载涂覆有光致聚合物材料的全息衍射基板,第一反射组件和第二反射组件出射的光束在全息衍射基板上能够形成衍射效率渐变的全息衍射光栅。

主权项:1.一种近眼显示设备,其特征在于,所述近眼显示设备包括曝光设备,所述曝光设备包括:激光器1、偏振分束镜2、液晶空间光调制器3、第一反射组件4、第二反射组件5和耦合组件6;所述偏振分束镜2位于所述激光器1的出光侧,所述激光器1用于出射光束,所述偏振分束镜2用于将所述光束分为P偏振光和S偏振光,并透射所述P偏振光且反射所述S偏振光;所述偏振分束镜2的第一出光侧21和第二出光侧22中的一侧具有所述液晶空间光调制器3,所述第一反射组件4用于反射所述偏振分束镜2的第一出光侧21的光束,所述第二反射组件5用于反射所述偏振分束镜2的第二出光侧22的光束,所述耦合组件6位于所述第一反射组件4的出光侧和所述第二反射组件5的出光侧的交叠区域;其中,所述液晶空间光调制器3用于对入射的光束的相位和振幅进行调制,以使所述液晶空间光调制器3出射的光束为能量分布渐变的光束,所述耦合组件6用于承载涂覆有光致聚合物材料的全息衍射基板7,且所述第一反射组件4和所述第二反射组件5出射的光束作为物光和参照光,以实现根据所述全息衍射基板7上涂覆的光致聚合物材料,设置合适的物光和参考光的曝光强度和曝光时间,物光和参考光在满足不饱和曝光的条件下,在涂敷有所述光致聚合物材料的全息衍射基板7上能够形成衍射效率渐变的全息衍射光栅,所述全息衍射光栅作为所述近眼显示设备中的第二衍射光栅,所述第二衍射光栅对光束每次进行衍射的衍射效率随着衍射次数的增加而增加,使得多次衍射后衍射光的能量效率相等,且每一次衍射光的能量与第一次衍射光的衍射效率相关,所述全息衍射光栅第一次衍射的衍射效率在0.05~0.1之间,所述偏振分束镜2的第一出光侧21为所述偏振分束镜2反射的S偏振光的出光侧,所述偏振分束镜2的第二出光侧22为所述偏振分束镜2透射的P偏振光的出光侧;其中,所述偏振分束镜2位于所述液晶空间光调制器3与所述第一反射组件4之间,所述偏振分束镜2的第一出光侧21背向所述第一反射组件4,所述液晶空间光调制器3为反射式结构的空间光调制器,且用于对所述偏振分束镜2反射的S偏振光的相位和振幅进行调制后得到能量分布渐变的P偏振光,以使P偏振光反射回所述偏振分束镜2,通过所述偏振分束镜2到达所述第一反射组件4,以使所述第一反射组件4和所述第二反射组件5出射作为物光和参照光的光束均是P偏振光;其中,经过所述液晶空间光调制器3的物光的能量分布渐变,未经过所述液晶空间光调制器3的参照光的能量分布均匀;所述曝光设备还包括半波片8;所述半波片8位于所述激光器1与所述偏振分束镜2之间,所述半波片8用于接收所述激光器1出射的光束,并将所述光束导向所述偏振分束镜2;所述半波片8用于对激光器(1)出射的光束中P偏振光或S偏振光的强度比例进行调整,以控制调整透射的P偏振光的比例和反射的S偏振光的比例。

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权利要求:

百度查询: 杭州海康威视数字技术股份有限公司 曝光设备及近眼显示设备

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