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摘要：本发明公开了一种量测装置，其包括用于调制输入辐射的相位调制器设备，相位调制器设备包括至少一个第一相位调制器。第一相位调制器包括：第一移动光栅，该第一移动光栅处于至少一种操作状态，用于衍射输入辐射并且使经衍射辐射的频率发生多普勒偏移；以及第一补偿光栅元件，包括节距，该节距被配置为补偿所述经衍射辐射的至少一个衍射阶的波长相关色散。
主权项：1.一种量测装置，该量测装置包括用于调制输入辐射的相位调制器设备；所述相位调制设备包括：至少一个第一相位调制器，包括：第一移动光栅，该第一移动光栅处于至少一种操作状态，该第一移动光栅用于衍射输入辐射并且使经衍射辐射的频率发生多普勒偏移；以及第一补偿光栅元件，该第一补偿光栅元件包括节距，该节距被配置为补偿所述经衍射辐射的至少一个衍射阶的、依赖于波长的色散。
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百度查询： ASML荷兰有限公司 量测装置及其相位调制器设备
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