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摘要：本发明提供了一种基于控温的传片机构、晶圆生产设备，涉及半导体设备技术领域。包括传片支架，还包括适于放置在所述传片支架上的环状机构；所述传片支架上形成有用于支撑晶圆的支撑台，所述环状机构上形成有适于支撑在晶圆边缘的托举面以实现通过托举所述环状机构而搬运所述晶圆，且当所述环状机构放置于所述传片支架上时，环状机构的托举面与所述晶圆的底面之间形成有间隙；所述支撑台与环状机构适于通过电磁感应的方式实现发热，并将热量辐射至所述晶圆的边缘以对晶圆进行加热。通过本方案可以提高对晶圆边缘位置的温度控制效果。
主权项：1.一种基于环状机构控温的传片机构，包括传片支架，其特征在于，还包括适于放置在所述传片支架上的环状机构；所述传片支架上形成有用于支撑晶圆的支撑台，所述环状机构上形成有适于支撑在晶圆边缘的托举面以实现通过托举所述环状机构而搬运所述晶圆，且当所述环状机构放置于所述传片支架上时，环状机构的托举面与所述晶圆的底面之间形成有间隙；所述支撑台与环状机构适于通过电磁感应的方式实现发热，并将热量辐射至所述晶圆的边缘部分以对晶圆边缘部分进行加热，以使晶圆整体受热均匀。
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百度查询： 厦门韫茂科技有限公司 一种基于环状机构控温的传片机构、晶圆生产设备
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