龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本申请公开了一种晶圆位置的校准方法、装置及晶圆传片系统，涉及晶圆校准技术领域。该晶圆位置的校准方法包括：获取放置在静电吸盘上的晶圆的晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的多张间隔区域图像；分别对每张第一间隔区域图像以及每张第二间隔区域图像进行二值化处理，得到两张第一二值化图像和一张第二二值化图像；根据两张第一二值化图像确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的两组第一像素点数量，以及根据一张第二二值化图像确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的一组第二像素点数量；根据两组第一像素点数量、一组第二像素点数量以及像素点尺寸，确定晶圆与静电吸盘的位置偏差值；根据位置偏差值，对晶圆进行位置校准。
主权项：1.一种晶圆位置的校准方法，其特征在于，所述方法包括：获取放置在静电吸盘上的晶圆的晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的多张间隔区域图像，所述多张间隔区域图像包括两张第一间隔区域图像和一张第二间隔区域图像，所述两张第一间隔区域图像为对第一方向的晶圆两侧的间隔区域拍摄图像，所述一张第二间隔区域图像为对第二方向的晶圆任意一侧的间隔区域拍摄图像，所述第一方向与所述第二方向垂直；分别对每张所述第一间隔区域图像以及每张所述第二间隔区域图像进行二值化处理，得到两张第一二值化图像和一张第二二值化图像；根据所述两张第一二值化图像确定所述晶圆边缘与所述静电吸盘边缘之间的两组第一像素点数量，以及根据所述一张第二二值化图像确定所述晶圆边缘与所述静电吸盘边缘之间的一组第二像素点数量；根据所述两组第一像素点数量、所述一组第二像素点数量以及像素点尺寸，确定所述晶圆与所述静电吸盘的位置偏差值；根据所述位置偏差值，对所述晶圆进行位置校准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 晶圆位置的校准方法、装置及晶圆传片系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号