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摘要：本发明涉及金属掩膜版加工技术领域，特别涉及一种金属掩膜版加工装备及加工方法，包括底座、安装在底座上的平台、安装在平台上且设置在平台左右两端的支架以及设置在平台上方的激光系统，底座的中部开设有废料槽，平台中部开设有与废料槽相对应的废料口，还包括安装在平台上的承托机构、固定展平机构和三维运动机构以及安装在支架上取料机构，用于产品的上料及下料；固定展平机构设置在废料口的左右两侧，用于产品的固定及展平；承托机构设置在固定展平机构的下方，用于支撑产品待切割区域；三维运动机构设置在固定展平机构的上方，用于驱动激光系统三维运动；本发明结构设计简单，效率和良品率高，且有效剔除废料。

主权项：1.一种金属掩膜版加工装备，包括底座（100）、安装在底座（100）上的平台（200）、安装在平台（200）上且设置在平台（200）左右两端的支架（300）以及设置在平台（200）上方的激光系统（400），所述底座（100）的中部开设有废料槽（110），所述平台（200）中部开设有与废料槽（110）相对应的废料口（210），其特征在于，还包括：承托机构（500）、固定展平机构（600）、三维运动机构（700），均安装在平台（200）上；以及取料机构（800），安装在支架（300）上，用于产品的上料及下料；所述固定展平机构（600）设置在废料口（210）的左右两侧，用于产品的固定及展平；所述承托机构（500）设置在固定展平机构（600）的下方，用于支撑产品待切割区域；所述三维运动机构（700）设置在固定展平机构（600）的上方，用于驱动激光系统（400）三维运动；所述承托机构（500）包括纵移模组（510）、横移板（520）、顶升模组（530）、顶升板（540）、支撑框架（550）、承托组件（560）、升降板（570）、横移驱动组件（580）和升降驱动组件（590），所述纵移模组（510）安装在平台（200）上，且设置在平台（200）左右两端，所述横移板（520）的左右两端分别与纵移模组（510）上滑板连接，所述顶升板（540）横向设置在横移板（520）的上方，并通过若干顶升模组（530）与横移板（520）连接，所述支撑框架（550）横向安装在顶升板（540）上，且设置在顶升板（540）的前部，所述承托组件（560）活动设置在支撑框架（550）内，所述升降板（570）分别横向设置在支撑框架（550）的前后两侧，并分别与支撑框架（550）滑动连接，所述横移驱动组件（580）安装在升降板（570）上，以驱动承托组件（560）横向移动，所述升降驱动组件（590）安装在顶升板（540）上，且设置在顶升板（540）的后部，以驱动升降板（570）升降。

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